一、定量測定方法

　　1、重量法

　　對外形復雜但可用天平稱量的小型物體的總體潔凈度的一種有效評價方法。取一定數目樣品，對其清洗前的質量m1，清洗后的質量m2和清洗后再用其它方法進行*往污后的質量m3進行正確稱量則對于單個樣品

　　污垢附著量=m1-m3;清洗污垢量=m1-m2;殘留污垢量=m2-m3

　　污垢往除率=(m1-m2)/(m1-m3)*100%

　　所求出樣品的污垢往除率及單位面積的污垢殘留是均勻值，據此即可判定出物體總體的潔凈程度。

　　2、吸光光度法

　　利用紫外線分光光度計丈量殘留污垢的方法，把清洗后的物體放在對污垢有強往除作用的清洗劑中，把清洗劑中溶解的污垢數目用紫外線吸收法進行測定。這種方法正確度高，可用于測定殘留量小于0.01ug/cm2的物體。

　　3、接觸角法

　　把水滴球面與物體接觸點所作的球面切線與物體表面形成的夾角叫接觸角，接觸角的大小與物體表面的材料有關。并隨著表面光潔度和物質性質而發生改變。接觸角越小表明其受親油性污垢污染越輕，表面潔凈度越高。接觸角法只適合于測定平滑表面的潔凈度，對粗糙表面的物體不適用。

　　4、殘留離子濃度法

　　用純凈的乙醇—水清洗液(通過離子交換法等純化處理后，其電阻值在21uΩ以上)對洗凈后的半導體材料進行浸泡處理，然后測定洗液的電導率，溶出的金屬離子越多，溶液的電導率越大。離子濃度與電導率之間存在正比關系，用這種方法可判定清洗的潔凈度。

　　二、定性評價方法

　　1、擦拭法

　　用干燥潔凈不起毛的布(如紗布)對物體表面擦拭，根據布臟的程度判定表面潔凈度。本法簡便但不。

　　2、水滴法

　　是接觸角評價潔凈度的一種應用。在一定的條件下，滴在表面上的水滴(一定體積)的直徑越大，接觸角越小，潔凈度越高。即把表面上形成的水滴直徑大小和外形，作為比較潔凈度的依據。

　　3、水膜法

　　把清洗后的物體浸泡在水里，使物體表面與水面成垂直，向上拉，離開水面后如物體表面形成的水膜能均勻的占滿全部表面，則說明潔凈度高，如表面有形不成水膜的，則說明那里不夠潔凈。

　　4、水霧法

　　用噴霧器把均勻的微粒狀的水滴噴射到清洗后的干燥表面上，通過形成水滴的情況判定潔凈度，當表面十分潔凈時，微粒狀水滴會在表面上均勻的潤濕展展，而且干燥后凝霧水膜四周外形呈規則的圓形。

　　5、呼氣法

　　對著干燥的清洗對象表面呼氣，水蒸氣在表面上冷凝時會形成渾濁的霧斑，表面清潔時產生的霧斑是均勻的，反之則不均勻。當表面十分平滑潔凈時，霧斑會在很短時間內消失。